LISÄTIETOJA

medias®-tuoteohjelma

RullajohteetKUVE (kuulajohteet)
 
YHTEYSTIEDOT
Käyttökohteet

Litografia (Litography)

Erittäin tarkkoja lineaarijohteita ristipöytiin

Jotta siruihin voidaan asentaa rakenteita, sirut on pinnoitettava erittäin valoherkällä fotoresistillä. Fotoresisti valotetaan maskin läpi, ja se liukenee kohdasta, johon valo osuu.

Seuraavan sukupolven puolijohdetuotannossa tavoitellaan alle 60 nm:n rakennekokoa suurempien pakkaustiheyksien ja kytkentänopeuksien saavuttamiseksi.

Lineaarimoottorikäyttöiset ristipöydät huolehtivat perusaineen ja projektiomaskin liikkeestä. Koneen perustan muodostavat tukeva, värähtelyvaimennettu graniittirunko ja erittäin tarkka johde, esim. INAn RUE-rullajohde. Tälle erittäin hiljaiselle johteelle ovat tunnusomaista tasaiset käynti- ja liukuvastukset, joilla saadaan aikaan hyvä asemoinnin toistettavuus ja tarkkuus.